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ISO Class 1 級無塵室是潔凈室中等級最高的類型,對空氣質(zhì)量和粒子濃度有極其嚴格的要求。為了達到這一水平,需要采取一系列先進技術(shù)和措施。
ISO Class 1 級無塵室的空氣中允許的粒子濃度極低。根據(jù) ISO 14644-1(國際標準化組織)標準,ISO Class 1 級無塵室的粒子濃度應(yīng)小于或等于以下水平:
* 0.1 微米粒子:< 10 個/立方英尺
* 0.2 微米粒子:< 4 個/立方英尺
* 0.5 微米粒子:< 1 個/立方英尺
* 5.0 微米粒子:< 0.1 個/立方英尺
潔凈室的空氣潔凈度等級(ISO 等級)基于每立方米空氣中 0.1 微米至 0.5 微米粒子數(shù)量的計算公式:
* ISO 等級 = -log(粒子數(shù)量/立方米)
ISO Class 1 級無塵室的 ISO 等級為 9。這表示每立方米空氣中 0.1 微米至 0.5 微米粒子數(shù)量為 10^-9 個。
為了維持 ISO Class 1 級無塵室的空氣潔凈度,需要保持高空氣交換率。這可以防止粒子在空氣中積聚。根據(jù)潔凈室設(shè)計標準,ISO Class 1 級無塵室的空氣交換率通常為 20-30 次/小時。
ISO Class 1 級無塵室使用高效空氣過濾器(HEPA 過濾器)和超低滲透空氣過濾器(ULPA 過濾器)去除空氣中的粒子。這些過濾器具有 99.99% 以上的過濾效率,可以去除 99.999% 以上的 0.1 微米和 0.3 微米的粒子。
ISO Class 1 級無塵室通常使用正壓梯度,這意味著與周圍區(qū)域相比,潔凈室內(nèi)的氣壓較高。這種壓力梯度可以防止未過濾的空氣進入潔凈室,并有助于保持潔凈度。
ISO Class 1 級無塵室是潔凈度等級最高的潔凈室類型,具有極其嚴格的空氣質(zhì)量和粒子濃度要求。通過實施嚴格的控制措施,包括低粒子濃度、高空氣交換率和先進的過濾系統(tǒng),ISO Class 1 級無塵室可提供高度受控的無塵環(huán)境,適用于關(guān)鍵行業(yè),如半導(dǎo)體制造、制藥和醫(yī)療。