凈化車間，也可以稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車間是由哪幾部門組呢？

一、凈化車間共有五部門組成：

1、隔間

凈化車間隔間分為三大部門,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車間與室外設(shè)有物品收支通道通報箱(passbox).當(dāng)職員進(jìn)入凈化車間時,首先要經(jīng)由風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,削減職員帶入凈化車間的灰塵.通報箱則是對物品灰塵舉行吹淋,到達(dá)落塵的效果。

2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)接納的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過濾器

千級區(qū)過濾器接納HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器接納ULPA,過濾效率99.9995%。

3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).

一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供應(yīng)空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管,二次側(cè)冰水12-17度供應(yīng)干盤管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個差別的回路,之間由板式換熱器毗鄰.

板式換熱器原理

干盤管:不結(jié)露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其露點溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車間,以是進(jìn)干盤管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤管系統(tǒng)控制

濕度:空調(diào)箱調(diào)治通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)治空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

正壓:空調(diào)箱調(diào)治,憑據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)治空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)治進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

5、其他系統(tǒng)

不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車間系統(tǒng)中還包羅有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),檢測尺度：

1、氣流速率及其平均度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的條件，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間事情區(qū)的平均氣流通度及其平均性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可到達(dá)的空氣潔凈度級別，可接納粒子計數(shù)器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的平均性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各注釋的振動幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包羅檢測凈化車間的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測凈化車間中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空心胸，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。

二、凈化車間凈化工程的事情流程是怎樣的

無塵凈化工程對車間有明確的要求，為了滿足需要、保證產(chǎn)物質(zhì)量，要對車間的環(huán)境、職員、裝備和生產(chǎn)過程等舉行控制。車間的治理，包羅對車間事情職員、物料以及裝備、管線治理。對車間事情職員事情服的制作，車間的洗濯。室內(nèi)裝備及裝修質(zhì)料的選擇和清掃、滅菌等，防止車間內(nèi)塵粒、微生物的發(fā)生。裝備、設(shè)施的維護(hù)治理，制訂響應(yīng)的操作規(guī)范，保證裝備按要求運轉(zhuǎn)，包羅凈化空調(diào)系統(tǒng)，水氣電系統(tǒng)等，確保生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度品級。對車間內(nèi)設(shè)施的清掃、滅菌，防止車間內(nèi)微生物的滯留、滋生等。為了更好地做好無塵凈化工程，就需要從無塵車間著手。

無塵凈化工程的主要事情流程：

1.謀劃：領(lǐng)會客戶的需求，確定合理的方案;

2.開端設(shè)計：憑據(jù)客戶的情形，舉行項目的設(shè)計;

3.方案交流：與客戶交流開端設(shè)計方案并做調(diào)整;

4.商務(wù)洽談：憑據(jù)確定的方案，洽談工程造價及簽訂條約;

5.施工圖設(shè)計：將開端設(shè)計方案確定為施工圖設(shè)計;

6.工程：根據(jù)施工圖舉行施工;

7.調(diào)試檢測：依據(jù)驗收規(guī)范及條約要求，舉行調(diào)試及檢測;

8.完工驗收：舉行完工驗收并交付客戶使用;

9.維護(hù)服務(wù)：負(fù)擔(dān)責(zé)任，并提供保修期后的服務(wù)。

三、什么是凈化車間(Clean Room):

用通俗易懂的語言來形貌的話,凈化車間就是在某個空間的空氣中灰塵、微粒子控制在一定數(shù)值以下,把壓力、溫度、濕度、氣流漫衍及其形狀和速率控制在一定局限內(nèi)為目的而制作的屋子.

什么是潔凈度(Class):就是指單元體積( 通常是立方英尺) 的空氣中含有大于、即是0.5μm 直徑的塵粒的數(shù)目,也稱為無塵度。

什么是塵粒:

塵粒是細(xì)小的灰塵、懸浮的器械.

塵粒越小,其外面積的比例相對增添,并不遵從牛頓定律運動,按重力垂落.而是在空氣中做不規(guī)則的運動,這種運動叫布朗運動.

因是懸浮的器械,而且做不規(guī)則的運動,在潔凈化手藝、產(chǎn)物制造中是令人頭痛的代表物.

總之,塵粒會對產(chǎn)物成品率崎嶇影響至關(guān)重要.如:電侵蝕征象。

凈化車間的原理：

通過空調(diào)系統(tǒng)和凈化裝置把空氣舉行調(diào)濕、調(diào)溫順過濾,然后把凈化的空氣通過凈化車間的高效過濾器送入到凈化車間內(nèi),到達(dá)潔凈品級的尺度.

通常: 溫度: 22℃±3 ℃;濕度:55%±5%.包羅:

1.空氣調(diào)治系統(tǒng);

2.2. 空氣凈化系統(tǒng).

凈化車間的類型：

按潔凈度和氣流的狀態(tài)的組合可以分為三種方式:

1.雜亂式凈化車間;

2.水平平行流式凈化車間;

3.垂直平行流式凈化車間

凈化車間的類型：

通過凈化車間屋頂?shù)母咝н^濾器出口向屋內(nèi)送風(fēng).通過墻壁的排氣口回風(fēng)，以玻璃纖維為主

體的制成的高效過濾網(wǎng)。

凈化車間的原則：

1.、杜絕把灰塵帶入凈化車間;

(一).空氣:

(1).通過過濾網(wǎng)凈化空氣:

常用的過濾網(wǎng):玻璃纖維和玻璃石棉等. 玻璃纖維:能過濾0.3 m 的懸浮塵粒,

甚至到達(dá)0.04 m 的懸浮塵粒;過濾效果:99.99%

玻璃石棉:憑據(jù)石棉的的直徑巨細(xì)決議;

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隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，凈化車間得到了快速的發(fā)展，應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛。目前，我國凈化車間行業(yè)發(fā)展主要呈現(xiàn)出以下幾個特點： 一、從微電子技術(shù)領(lǐng)域向光電技術(shù)和微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域擴(kuò)展 光電技術(shù)是繼微電子技術(shù)之后近年來迅速發(fā)展的新興技術(shù)，它集

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例:1m的石棉過濾1 m 的塵粒.

2、進(jìn)入凈化車間必須穿著無塵衣.

不得使用容易發(fā)生灰塵的質(zhì)料、裝備、備品等.使用凈化車間用品.(無塵紙、無塵本、圓珠筆等)削減沒必要的職員的流動、裝備的運轉(zhuǎn).制訂裝備的擺放結(jié)構(gòu)設(shè)計方案.沒必要的物品克制帶入到凈化車間.凈化車間中克制脫無塵衣.凈化車間內(nèi)物品數(shù)目限制在最少的限度.物品擺放作出劃定,削減空氣亂流.

四、凈化車間吸塵器的吸塵原理及基本結(jié)構(gòu)

吸塵器的潔凈原理是借助吸氣作用，從地板、地毯、墻壁、家具及其它不易用掃帚消滅污垢的外面吸走灰塵和干的贓物，如線、紙屑、頭發(fā)等。它的主要部件是真空泵、過濾袋、軟管、延伸管及種種形狀的差別管嘴?，F(xiàn)代的在附件上轉(zhuǎn)變多樣，為消滅地毯污物設(shè)計出了粗毛刷、細(xì)毛刷、轉(zhuǎn)動毛刷，清算墻角用的是扁形管嘴、清算地析板用磨光刷等。

第一層過濾/紙袋（拋棄式）：4gallons(15L)能有用的網(wǎng)絡(luò)處置可目視粉塵。

第二層過濾/加大的布質(zhì)過濾器（可洗式）：可以珍愛并延伸HEPA 過濾器的壽命。

第三層過濾/馬達(dá)珍愛套：深層過濾，可以珍愛馬達(dá)使用壽命。

第四層過濾/HEPA 或ULPA 過濾器：

HEPA 可有用過濾0.3um 微塵達(dá)99.99%，適合用在較細(xì)微的過濾。HEPA 所有經(jīng)由激光灰塵粒子計數(shù)器的檢測。ULPA 可以有用過濾99.999%的0.12um（相當(dāng)于人類頭發(fā)直徑的1/960）d巨細(xì)的粉塵，適用于CLASS1-10級無塵凈化環(huán)境，國家航天局指定專用吸塵器。

信賴明白凈化車間吸塵器的應(yīng)該對照熟悉了吧，這樣的過濾系統(tǒng)用在百級和千級凈化車間車間內(nèi)里是不成問題的。

五、凈化車間與通俗的房間在結(jié)構(gòu)上事實有什么區(qū)別呢？

通常凈化車間的氣流設(shè)計工藝為單向氣流，凈化車間內(nèi)生產(chǎn)裝備的設(shè)計和擺放應(yīng)充實思量到氣流的偏向不被阻礙：既然是潔凈室，顧名思義它就是為了控制污染源，提高產(chǎn)物潔凈度而設(shè)計的高潔凈度生產(chǎn)車間。造成污染源的因素有許多，而人的因素是污染的最大源頭，以是對人的行為等控制相對也會嚴(yán)酷一些，固然其它因素也是不容忽視的?？偠灾?，它只是比通俗環(huán)境加倍潔凈的事情車間，并不會對人體造成任何威脅，要保證潔凈室的環(huán)境必須舉行全方位控制，僅靠硬件事情是不夠的，外來的污染源頭也是我們在凈化車間環(huán)境污染控制的重中之重！通過以上先容希望人人能對凈化車間有個準(zhǔn)確的明白，在這樣的環(huán)境下舉行工業(yè)化生產(chǎn)，是一種一定的生長趨勢。

六、熟悉凈化車間照明燈的基本原理

凈化車間的照明原理是提供可見度，它與空氣供應(yīng)系統(tǒng)和降低污染相協(xié)調(diào)的準(zhǔn)確照明度，是凈化車間設(shè)計結(jié)構(gòu)中不可或缺的組成部門。凈化車間的照明會憑據(jù)室內(nèi)的使用，品級的分類和天花板上空氣供應(yīng)的結(jié)構(gòu)而發(fā)生改變，照明系統(tǒng)一定要提供優(yōu)越的能見度，將污染控制把電磁場的發(fā)生與潔凈度的設(shè)計思量進(jìn)去。

對于凈化車間的組織來講，照明燈具的成本不會跨越總預(yù)算的1%，而照明的能源成本與凈化車間的hvac以及制程裝備的功率需要相對照可以說是很小的，因此凈化車間的照明焦點便釀成適當(dāng)?shù)恼彰鞫?，與空氣供應(yīng)系統(tǒng)相互協(xié)調(diào)，同時對安裝在該空間內(nèi)特定的環(huán)境與制程的污染降低。許多凈化車間的外面具有很高的反射性，大部門的天花板，墻面，地板外面均光鮮亮麗，只管這樣，質(zhì)料顏色的選擇仍在考察中，便于改善使用者的環(huán)境。在凈化車間的設(shè)計結(jié)構(gòu)中，照明系統(tǒng)使用常見的是熒光燈，因其能源效率高，使用壽命長，維護(hù)成本低，

經(jīng)常使用到。熒光燈在紫外線光譜內(nèi)發(fā)生一定能量，對于一些凈化車間內(nèi)的制程是有害的，過濾UV 可以使用燈罩遮蔽，然則這種遮蔽會轉(zhuǎn)換成可見光至黃色，雖然這種遮蔽僅能降低10%到20%照明度，但由于顏色的誤差，所察覺到的照明度看起來對照少。照明燈內(nèi)需要清閑器來來發(fā)生燈泡所需要的啟動電壓與操作電流，使用在清閑器的手藝為電磁式和電子式。

等某一空間需要過濾器與照明時，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過濾器合并在一起，這種用具經(jīng)常使用在小型且已預(yù)制好的凈化車間內(nèi)，這種用具為嵌入式，有開放的頂部和一個替換燈罩的巧克力制百葉，同時用于作為照明照明燈具與空氣運送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過濾器空間需求的沖突，同時作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已生長出模塊式的天花板系統(tǒng)，具有內(nèi)建在格架通道內(nèi)的整合照明，這些系統(tǒng)允許層流氣流不受到影響。污染控制是凈化車間設(shè)計結(jié)構(gòu)的主要目的，任何帶有進(jìn)入凈化車間的潛在污染源要嚴(yán)酷消滅使其控制在一定局限內(nèi)，照明燈具要舉行污染評估檢測。

七、凈化車間的品級和寄義

凈化車間是對空間內(nèi)空氣中的微粒做到控制，所組織的特殊封閉性修建?？傮w來說，凈化車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震驚噪音等環(huán)境因素做控制。凈化車間對品級的差別，對一定空間內(nèi)的微塵粒子最大允許量有一定規(guī)范，在國際尺度中分為ISO-14644，ISO-14644的品級界說。這里所指的微?；覊m是肉眼無法瞥見的灰塵及粒子，一樣平常空氣清凈機(jī)無法完全消滅之灰塵。凈化車間一樣平常分為電子、周詳工業(yè)用（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食物產(chǎn)業(yè)用。

東莞洲達(dá)實業(yè)專注精品裝飾，室內(nèi)裝修設(shè)計，水電安裝，凈化工程設(shè)計與施工服務(wù)十余年履歷。

在JIS 尺度中，凈化車間潔凈度，分8 個品級，通常潔凈度是指空氣的潔凈品級，分為1到8 個階段。在1 立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10 個以下時為1；百個以下是100=102 是品級2；千個以下時是1000=103品級3，以此類推。21 世紀(jì)，尖端科技產(chǎn)業(yè)的生長，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變化，凈化車間設(shè)立的必要性也相對地提高。產(chǎn)物逐漸的小型化和周詳化，灰塵和溫濕的轉(zhuǎn)變對產(chǎn)物的完成度同樣造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)下降，隨著產(chǎn)物的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的要求也越來越高。因此在凈化車間中用防塵質(zhì)料及產(chǎn)物都顯得異常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境，內(nèi)里含有的粒子遠(yuǎn)低于一樣平常的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速發(fā)展，也增添了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上縱然使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)物的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米手藝的興起，造成半導(dǎo)體要害尺寸連續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增添，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。以是凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

八、無車室的用途分類

⑴、工業(yè)凈化車間

——以無生命微粒的控制為工具。主要控制空氣灰塵微粒對事情工具的污染，內(nèi)部一樣平常保持正壓狀態(tài)。它適用于周詳機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)物工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

⑵、生物凈化車間

主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（灰塵）對事情工具的污染。又可分為；

A、一樣平常生物凈化車間，主要控制微生物（細(xì)菌）工具的污染。同時其內(nèi)部質(zhì)料要能經(jīng)受種種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一樣平常保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部質(zhì)料要能經(jīng)受種種滅菌處置的工業(yè)凈化車間。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食物、化妝品、飲料產(chǎn)物生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

B、生物學(xué)平安凈化車間：主要控制事情工具的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。

九、凈化車間與潔凈室是一樣的嗎

凈化車間(Clean Room)，亦稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2 內(nèi)里，凈化車間被界說為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、組織質(zhì)料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而到達(dá)適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。凈化車間是指將一定空間局限內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物清掃，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速率與氣流漫衍、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求局限內(nèi)，而所給予稀奇設(shè)計之房間。潔凈室：溫度、濕度、壓力（壓差）、潔凈度、浮游菌、沉降菌受控的空間。兩者沒有本質(zhì)的區(qū)別，但適用尺度、品級有所差異。

十、凈化車間系統(tǒng)中干盤管的作用和原理

風(fēng)機(jī)盤管是空調(diào)系統(tǒng)中的末尾裝備，主要用來舉行內(nèi)陸的熱交流，在冬季供暖時沒有干濕之分，只有在夏日供冷時有干濕之分。

所謂干盤管指盤管的熱交流只有顯熱交流，沒有潛熱交流，這對室內(nèi)無濕源且對空氣相對濕度要求不高的地方可以使用，由于在空氣含濕量一定的情形下溫度下降會使空氣相對濕度增添。盤管自己無干濕之分，干盤管是通過控制冷凍水供水溫度來實現(xiàn)的，縱然供水溫度高于室內(nèi)空氣的露點溫度，使室內(nèi)空氣在溫度下降過程中，所含水蒸汽不凝結(jié)成水。由于干盤管只舉行顯熱交流，沒有潛熱交流，以是相對濕盤管相同溫降所需熱交流量要少一些。

十一、無塵噴漆房的無塵噴漆房事情原理

顧名思義就是在一個房間里對過濾噴漆工具舉行噴漆，現(xiàn)在也被叫做烤漆房。

傳統(tǒng)的噴漆是在露天用噴頭給用具（汽車，家具等）噴漆，然則這樣方式對于大型用具來說會使噴漆質(zhì)量降低，例如：噴漆過程中會把空氣中的粉塵混合在油漆里，從而降低噴漆質(zhì)量；

具有不確定性虛耗油漆，而且噴漆區(qū)域會異常臟；對于事情職員來說，一方面會很臟，另一方面會吸入大量油漆霧對身體晦氣。厥后人們想把噴漆設(shè)定在一定的局限內(nèi)，就發(fā)生了最早的噴漆房----抽風(fēng)式噴漆房，在中國噴漆房最早是在上世紀(jì)90 年月成都區(qū)域發(fā)生的。

抽風(fēng)式噴漆房的3 個要害就是：

1.透風(fēng)----抽風(fēng)式噴漆房事情的要害

2.過濾----過濾空氣中小顆粒

3.排氣----廢空氣的排擠和新空氣的進(jìn)入

詳細(xì)的原理是：

風(fēng)（室外空氣）----噴漆房過濾棉----噴漆臺----行使噴漆裝備對噴濺噴漆----排風(fēng)扇（排擠發(fā)生的漆霧）

這種噴漆房的弱點照樣存在：

1.過濾布容易劃傷，灰塵容易進(jìn)入

2.易將室外不潔凈的空氣進(jìn)入

3.不環(huán)保，虛耗油漆

4.需要經(jīng)常清算，定期消滅過濾布上的污垢

十二、凈化車間煙控原理及設(shè)計方式

近幾年來，在我國的新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)內(nèi)陸續(xù)發(fā)生了多次半導(dǎo)體廠房火災(zāi)事故，雖然所造成的職員傷亡不大，但對于財物的損失卻很可觀，其數(shù)目動輒以數(shù)十億甚至百億元新臺幣盤算，對業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財損的元兇，但由于土地取得不易，凈化車間廠房多向高樓層生長，高智慧的手藝人力及昂貴的裝備機(jī)臺集中在廠房內(nèi)，萬一發(fā)生火災(zāi)意外，損失將數(shù)十倍于一樣平常工廠。此外，高科技凈化車間廠房內(nèi)使用許多的易爆性與易燃性氣體，例如SiH4、H2、PH3 等，更增添廠房內(nèi)的潛在危險，若無適當(dāng)?shù)膶Σ吲c措施，因此，為了降低火災(zāi)發(fā)生時職員的傷亡與財物的損失，必須對修建物舉行煙流控制，這一點新加坡已強(qiáng)制劃定執(zhí)行，而在相近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制律例，其目的都是在降低火災(zāi)發(fā)生時，高溫?zé)熈鲗T工性命及裝備污染的危險。海內(nèi)現(xiàn)有防排煙模式剖析海內(nèi)現(xiàn)在現(xiàn)有之凈化車間煙控模式共有四種。其中，煙控設(shè)計原理，就是行使在凈化車間下層回風(fēng)區(qū)的一樣平常排氣風(fēng)管，在其上安裝閘門，平時此閘門為關(guān)閉狀態(tài)，以維持一樣平常排氣的運作，若遇上凈化車間或凈化車間下層回風(fēng)區(qū)發(fā)生火災(zāi)時，則打開閘門以舉行排煙。此設(shè)計必須有兩個假設(shè)建立才氣施展其功效，第一個假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于凈化車間中，則凈化車間上方的FFU 下吹垂直層流速率必須大過火災(zāi)煙塵向上升的速率，才氣壓制凈化車間火災(zāi)發(fā)生的煙塵，將其導(dǎo)引向下至下層回風(fēng)區(qū)中，然后經(jīng)由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。第二個假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于下層回風(fēng)區(qū)中，則上升的煙塵會蓄積于下層回風(fēng)區(qū)的上部，讓煙塵由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。然而上述兩種假設(shè)在現(xiàn)實狀況中皆很難建立，由于從凈化車間天花板下吹的垂直層流速率在0.25-0.5 m/s 左右，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，煙塵的向上速率就會大于0.5 m/s，然后煙塵會在上方蓄積形成蓄煙層，此時從凈化車間天花板下吹的氣流只會造成煙塵更迅速的擴(kuò)散，發(fā)生更大的危害。另外，若是煙塵的溫度過高，則HEAP 或ULPA 這類濾層有可能被燒穿，使得煙塵危害更形雪上加霜，故而第一種假設(shè)無法建立。其次為蓄煙的問題，高架地板由于有開洞板的關(guān)系，會使得下層回風(fēng)區(qū)火災(zāi)所發(fā)生的煙塵穿過開洞板，向上進(jìn)入凈化車間中而無法在高架地板下蓄積，使得排煙點的有用排煙局限僅限于排煙閘門周圍四周，因此只能抽取到少量的煙塵，故第二種假設(shè)亦難建立。一樣平常而言，此類設(shè)計模式常見于老舊廠房的凈化車間中，主要是由于早年的半導(dǎo)體廠在建立時少少會思量到煙控系統(tǒng)，厥后由于需要，只好在一樣平常排氣風(fēng)管上開洞，在加裝控制閘門后做為排煙之用，云云對原來的裝備及廠務(wù)系統(tǒng)影響最少。行使一樣平常排氣風(fēng)管做為排煙系統(tǒng)亦有些問題需要思量，如管路是否耐高溫？排煙量是否足夠？風(fēng)機(jī)是否為排煙風(fēng)機(jī)？閘門是否為防煙閘門？其泄露量為UL 555S 的何種品級？系統(tǒng)若何控制及可靠度問題？故建議使用專用的排煙系統(tǒng)，可以大幅解決上述的許多問題。

有用的煙控設(shè)計方式

主要觀點是在凈化車間上方啟齒排煙，啟齒處使用UL 555S認(rèn)證之防排煙閘門，用以蒙受排煙時之高溫?zé)焿m，若是要思量防火區(qū)劃的問題，可改用防火及防煙風(fēng)門。凈化車間必須先舉行防煙區(qū)劃，行使現(xiàn)有隔間或分外加設(shè)防煙垂壁的方式，劃分凈化車間區(qū)域。當(dāng)某一區(qū)劃中發(fā)生火災(zāi)時，關(guān)閉該區(qū)的空調(diào)，而且打開該區(qū)的排煙閘門，啟動排煙風(fēng)機(jī)舉行排煙，然則非火災(zāi)區(qū)的區(qū)劃之空調(diào)仍然存在，云云可讓排煙區(qū)形成負(fù)壓力區(qū)，而非火災(zāi)區(qū)形成正壓力區(qū)，此正負(fù)壓設(shè)計對阻止大顆粒煙塵的擴(kuò)散有一定水平的輔助，而且凈化車間為一密閉空間，必須維持壓力平衡，否則排煙系統(tǒng)的排氣氣力會因阻力愈來愈大而使效能愈來愈差。回風(fēng)豎井中必須行使防煙風(fēng)門切斷回風(fēng)系統(tǒng)，防止被污染的空氣透過回風(fēng)系統(tǒng)再循環(huán)進(jìn)入其它的區(qū)劃中，此時位于凈化車間上方的外氣MA 彌補(bǔ)系統(tǒng)仍提供新鮮空氣，維持空調(diào)系統(tǒng)仍打開的區(qū)劃能連續(xù)送風(fēng)。排煙閘門的開啟與排煙風(fēng)機(jī)的啟動可以手動或由偵煙器連動，偵煙器可用尋址的離子式偵煙器或是及早型偵煙器VESDA。在舊有的凈化車間廠房中，多于回風(fēng)道接納軸流式風(fēng)機(jī)，而且搭配HEPAFilter 或ULPA Filter 之回風(fēng)形式，此種方式的廠房較晦氣于接納防煙區(qū)劃來分區(qū)關(guān)閉回風(fēng)系統(tǒng)并形成正負(fù)壓之防煙模式，亦即當(dāng)遇到火災(zāi)時，只有將回風(fēng)系統(tǒng)之風(fēng)機(jī)完全關(guān)閉或繼續(xù)開啟之選擇。但在新的凈化車間廠房中，多改用FFU 回風(fēng)方式，云云一來，若預(yù)先設(shè)計好FFU 電路分區(qū)開關(guān)，即可有用行使防煙區(qū)劃分區(qū)關(guān)閉FFU，形成所謂的正負(fù)壓區(qū)劃防煙。

參考資料：《潔凈室施工及驗收規(guī)范》

《無塵車間工程施工要害流程詳細(xì)注釋》

《最全無塵車間尺度要求》

《無塵車間施工方案大揭密》

《無塵車間工程裝修寶典》

《凈化工程安裝要求,特征及監(jiān)測》

《凈化工程施工大全(最新版)》

《凈化工程安裝尺度大全》

《凈化工程裝修寶典》