用于電子光學(xué)光電半導(dǎo)體新能源等行業(yè)的潔凈室，是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi)，而專門設(shè)計(jì)建造的生產(chǎn)車間。即是具有無(wú)論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。
一、潔凈室設(shè)計(jì)依據(jù)
1、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB50073-2001
2、《實(shí)驗(yàn)室生物安全通用要求》 GB19489-2004
3、《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB50222-1995
4、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB50016-2006
5、《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 JGJ71-1990
6、《通風(fēng)與空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》 GB 50243-2002
7、《暖通空調(diào)制圖標(biāo)準(zhǔn)》 GB/T50114-2001
8、《供配電設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB50052-1995
9、《通用用電配電設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50053-1993
二、潔凈室區(qū)域布局設(shè)計(jì)
潔凈室是根據(jù)生產(chǎn)需要進(jìn)行的般來說，無(wú)塵車間可以設(shè)計(jì)為三個(gè)區(qū)域:一般作業(yè)區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和潔凈區(qū)。
一般作業(yè)區(qū)(非清潔區(qū)):一般原材料、成品倉(cāng)庫(kù)、包裝材料倉(cāng)庫(kù)、外包裝車間、成品倉(cāng)庫(kù)等一般原材料、成品及工具儲(chǔ)存區(qū)、包裝成品轉(zhuǎn)運(yùn)區(qū)、成品區(qū)風(fēng)險(xiǎn)較低的區(qū)域。
準(zhǔn)潔凈區(qū):對(duì)潔凈度要求低，可以不設(shè)立二次更衣，如原材料儲(chǔ)存、包裝材料處理、包裝、緩沖間(拆包間)、一般生產(chǎn)加工間、包裝間等成品處理但不直接暴露的區(qū)域。
準(zhǔn)潔凈作業(yè)區(qū): 凈化環(huán)境要求最高，人員進(jìn)入前必須消毒換衣。成品裸露加工區(qū)、成品冷加工區(qū)、成品待包裝區(qū)、成品內(nèi)包裝區(qū)等。
三、潔凈室凈化等級(jí)參數(shù)
1、細(xì)顆粒物較大容許數(shù)(每立方)：大于或等于0.5μm的微粒數(shù)不能超過350000個(gè)，大于或等于5μm的微粒數(shù)不能超過30000個(gè)。
2、微生物菌種較大容許數(shù)：浮游菌數(shù)不能超過500個(gè)每立方；沉降菌數(shù)不能超過10個(gè)每細(xì)胞培養(yǎng)皿。
3、壓力差：同樣潔凈室等級(jí)的凈化室壓力差保持一致，針對(duì)不一樣清潔級(jí)別的鄰近凈化室中間壓力差要≥5Pa，凈化室和非凈化室中間要≥10Pa。
4、溫濕度記錄規(guī)定：十萬(wàn)級(jí)凈化室對(duì)環(huán)境溫度、環(huán)境濕度無(wú)特別要求時(shí)，以衣著潔凈工作服不造成難受感為宜，環(huán)境溫度一般調(diào)節(jié)在冬天20~22℃，夏天24~26℃，起伏±2℃。冬天凈化室環(huán)境濕度操縱在30-50%，夏天凈化室環(huán)境濕度操縱在50- 70%
5、配電設(shè)備：凈化室的具體生產(chǎn)制造用地一般光照強(qiáng)度值宜≥300Lx；協(xié)助個(gè)人工作室、工作人員凈化處理和材料凈化處理專室、氣閘室、過道等的光照強(qiáng)度值宜為200~300Lx。
6、中央空調(diào)為風(fēng)冷模塊機(jī)空調(diào)，設(shè)計(jì)環(huán)境溫度≤26℃，環(huán)境濕度≤50%。
7、新風(fēng)系統(tǒng)填補(bǔ)量：總送排風(fēng)量的20%-30%；
8、光照強(qiáng)度高于或等于300Lux。
9、換氣次數(shù)：100000級(jí)≥25次；
四、潔凈室裝修工程施工
1.潔凈室裝修工程必須在各專業(yè)工種施工之間制定嚴(yán)格的施工程序，一般按照設(shè)計(jì)圖紙、墻體安裝、電路預(yù)埋、吊頂、凈化通風(fēng)管道、門窗、嵌縫處理、地面等系列
2.在潔凈室建筑裝修施工過程中，必須隨時(shí)清理灰塵，并對(duì)隱蔽空間(如天花板、夾墻內(nèi)部等)進(jìn)行清理，確保無(wú)塵車間施工中的隱蔽處無(wú)衛(wèi)生死角。
3.對(duì)安裝已完成的墻體吊頂工程表面應(yīng)得到保護(hù)，避免板材凹陷、暗裂、墻體表面不得因碰撞、敲打、踩踏、多水作業(yè)等原因造成污染。
4.潔凈室墻體結(jié)構(gòu)結(jié)合及陰陽(yáng)角內(nèi)圓弧、外圓柱部位嵌入密封膠前，應(yīng)清除基槽內(nèi)的雜質(zhì)和油污，保持表面干燥。
5.潔凈室臨時(shí)設(shè)置的設(shè)備入口不使用時(shí)應(yīng)關(guān)閉，防止灰塵和雜物進(jìn)入。
6、施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)確保良好的通風(fēng)和照明。對(duì)于重建工程，在施工前應(yīng)識(shí)別并切斷原有電源和易燃、易爆和有毒氣體管道，并對(duì)工藝生產(chǎn)過程中使用的腐蝕性液體采取安全保護(hù)措施

十萬(wàn)級(jí)潔凈室	百級(jí)半導(dǎo)體潔凈室