用于電子光學光電半導體新能源等行業(yè)的潔凈室，是將一定空間范圍內的空氣塵埃粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內，而專門設計建造的生產車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化，其室內環(huán)境均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。
一、潔凈室設計依據
1、《潔凈廠房設計規(guī)范》 GB50073-2001
2、《實驗室生物安全通用要求》 GB19489-2004
3、《建筑內部裝修設計防火規(guī)范》 GB50222-1995
4、《建筑設計防火規(guī)范》 GB50016-2006
5、《潔凈室施工及驗收規(guī)范》 JGJ71-1990
6、《通風與空調工程施工及驗收規(guī)范》 GB 50243-2002
7、《暖通空調制圖標準》 GB/T50114-2001
8、《供配電設計規(guī)范》 GB50052-1995
9、《通用用電配電設計規(guī)范》 GB 50053-1993
二、潔凈室區(qū)域布局設計
潔凈室是根據生產需要進行的般來說，無塵車間可以設計為三個區(qū)域:一般作業(yè)區(qū)、準潔凈區(qū)和潔凈區(qū)。
一般作業(yè)區(qū)(非清潔區(qū)):一般原材料、成品倉庫、包裝材料倉庫、外包裝車間、成品倉庫等一般原材料、成品及工具儲存區(qū)、包裝成品轉運區(qū)、成品區(qū)風險較低的區(qū)域。
準潔凈區(qū):對潔凈度要求低，可以不設立二次更衣，如原材料儲存、包裝材料處理、包裝、緩沖間(拆包間)、一般生產加工間、包裝間等成品處理但不直接暴露的區(qū)域。
準潔凈作業(yè)區(qū): 凈化環(huán)境要求最高，人員進入前必須消毒換衣。成品裸露加工區(qū)、成品冷加工區(qū)、成品待包裝區(qū)、成品內包裝區(qū)等。
三、潔凈室凈化等級參數
1、細顆粒物較大容許數(每立方)：大于或等于0.5μm的微粒數不能超過350000個，大于或等于5μm的微粒數不能超過30000個。
2、微生物菌種較大容許數：浮游菌數不能超過500個每立方；沉降菌數不能超過10個每細胞培養(yǎng)皿。
3、壓力差：同樣潔凈室等級的凈化室壓力差保持一致，針對不一樣清潔級別的鄰近凈化室中間壓力差要≥5Pa，凈化室和非凈化室中間要≥10Pa。
4、溫濕度記錄規(guī)定：十萬級凈化室對環(huán)境溫度、環(huán)境濕度無特別要求時，以衣著潔凈工作服不造成難受感為宜，環(huán)境溫度一般調節(jié)在冬天20~22℃，夏天24~26℃，起伏±2℃。冬天凈化室環(huán)境濕度操縱在30-50%，夏天凈化室環(huán)境濕度操縱在50- 70%
5、配電設備：凈化室的具體生產制造用地一般光照強度值宜≥300Lx；協助個人工作室、工作人員凈化處理和材料凈化處理專室、氣閘室、過道等的光照強度值宜為200~300Lx。
6、中央空調為風冷模塊機空調，設計環(huán)境溫度≤26℃，環(huán)境濕度≤50%。
7、新風系統填補量：總送排風量的20%-30%；
8、光照強度高于或等于300Lux。
9、換氣次數：100000級≥25次；
四、潔凈室裝修工程施工
1.潔凈室裝修工程必須在各專業(yè)工種施工之間制定嚴格的施工程序，一般按照設計圖紙、墻體安裝、電路預埋、吊頂、凈化通風管道、門窗、嵌縫處理、地面等系列
2.在潔凈室建筑裝修施工過程中，必須隨時清理灰塵，并對隱蔽空間(如天花板、夾墻內部等)進行清理，確保無塵車間施工中的隱蔽處無衛(wèi)生死角。
3.對安裝已完成的墻體吊頂工程表面應得到保護，避免板材凹陷、暗裂、墻體表面不得因碰撞、敲打、踩踏、多水作業(yè)等原因造成污染。
4.潔凈室墻體結構結合及陰陽角內圓弧、外圓柱部位嵌入密封膠前，應清除基槽內的雜質和油污，保持表面干燥。
5.潔凈室臨時設置的設備入口不使用時應關閉，防止灰塵和雜物進入。
6、施工現場應確保良好的通風和照明。對于重建工程，在施工前應識別并切斷原有電源和易燃、易爆和有毒氣體管道，并對工藝生產過程中使用的腐蝕性液體采取安全保護措施

十萬級潔凈室	百級半導體潔凈室