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表7 美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B
| 凈化間級別 | 粒子 |
室內(nèi)壓力Pa mmH2O |
溫度 | 濕度 |
氣流 換氣次數(shù) |
照度 | |||||
|
粒徑 um |
累計(jì)粒子數(shù) |
范圍 （℃） |
推薦值（℃） |
差 （℃） |
高 （%） |
最低 % |
誤差 % |
||||
|
100 1000 10000 100000 |
≥0.5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100 1000 10 10000 65 100000 700 |
13 （ 1.3） 以上 |
19.4― 25 |
22.2 |
±2.8 特別時(shí)為±1.4 |
45 | 30 |
±10 特別時(shí)為±5 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流方式 ≥20次/h |
1080--1620 |
| 級別名稱** | 級別上限值 | ||||||||||
|
粒徑 0.1um |
粒徑 0.2um |
粒徑 0.3um |
粒徑 0.5um |
粒徑 5um |
|||||||
| SI*** |
English Unit |
(m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) |
|
MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
1 10 100 1000 10000 100000 |
350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- |
9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- |
75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- |
2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- |
30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- |
0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- |
10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 |
0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 |
-- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 |
-- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
| 生物凈化間級別 | 粒子 | 生物粒子 |
室內(nèi) 壓力 Pa mmH2O |
溫度℃ |
濕度 % |
氣流 換氣次數(shù) |
照度 Lx |
||
|
粒徑 um |
累計(jì) 粒子數(shù) 個(gè)/ft (個(gè)/l) |
浮游量 個(gè)/ft (個(gè)/l) |
沉降量 | ||||||
|
100 10000 100000 |
≥0.5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100 （3.5） 10000 （350） 65（2.3） 100000 （3500） 700(25) |
0.1 （0.0035） 0.5 （0.0176） 2.5 （0.0884） |
1200 （12900） 6000 （64000） 30000 （323000） |
13 （ 1.3） 以上 |
推 薦 值 |
40 ― 50 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流式 ≥20次/h |
1080― 1620 |
| 領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè) | 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)（級別） | 內(nèi)容 | ||
| SI | English unit | |||
|
半導(dǎo)體工業(yè) （IC、LSI等） |
掩模板對準(zhǔn)工藝 | M3.5 | 100 | |
| 刻蝕工藝 | M3.5 | 100 | 腐蝕加工 | |
| 擴(kuò)散工藝 | M3.5 | 100 | 高純度擴(kuò)散 | |
| 蒸著工藝 | M3.5 | 100 | 高純度電鍍 | |
| 涂布工藝 | M3.5 | 100 | 感光劑涂布 | |
| 電子設(shè)備 | 計(jì)算器制造 | M5.5 | 10,000 | 磁頭 |
| 陰極射線管 | M5.5 | 10,000, | 遮屏 | |
| 磁帶 | M5.5 | 10,000 | 防止雜音 | |
| 精密儀器 | 陀螺、微型軸承 | M5.5 | 10,000 | 提高精度 |
| 導(dǎo)彈部件、繼電器 | M5.5 | 10,000 | 防止誤動(dòng)作 | |
| 鐘表、小型計(jì)量儀器 | M5.5 | 10,000 | 組立、封裝、修理 | |
| 光學(xué)、印刷 | 照相機(jī)、印刷電路板 | M5.5 | 10,000 | 制作 |
| 鏡頭、膠片 | M4.5 | 1,000 | 連接 | |
| 電子制版 | M5.5 | 10,000 | 制作、檢查 | |
| 化學(xué)藥品 | 注射液充填 | M3.5 | 100 | 調(diào)和、充填 |
| 無菌動(dòng)物養(yǎng)育 | M3.5 | 100 | SPF | |
| 化學(xué)藥品 | 抗生物 | M5.5 | 10,000 | 充填、檢查 |
| 一般醫(yī)療品 | M6.5 | 100,000 | 制造 | |
| 食品 | 釀造、發(fā)酵 | M5.5 | 10,000 | 防止醬油、大醬腐壞 |
| 乳制品、生食品 | M6.5 | 100,000 | 防止酸乳酪變質(zhì) | |
| 食肉加工 | M5.5 | 10,000 | 火腿、香腸 | |
| 攪拌(弄成糊狀)食品 | M5.5 | 10,000 | 攪拌后備烤的圓筒形、半圓形魚肉、魚肉山芋丸子等食品制冷時(shí)防止細(xì)菌粘附上。 | |
| 醫(yī)療 | 手術(shù)室 | M3.5 | 100 | 股關(guān)節(jié)手術(shù)、臟器移植 |
| 特殊治療室 | M3.5 | 100 | 白血病、燙傷 | |
| 恢復(fù)、新生兒室 | M3.5 | 10,000 | 早產(chǎn)兒、術(shù)后防止感染 | |
| 臨床檢查 | M5.5 | 10,000 | 菌類培植、檢查 | |
| 農(nóng)林畜產(chǎn) | 蘑菇栽培 | M5.5 | 10,000 | 防止蘑菇種菌被雜菌感染 |
| 植物 | M6.5 | 100,000 | 蘭花栽培（試驗(yàn)用無菌植物、強(qiáng)勢培植植物） | |
| 養(yǎng)殖 | M5.5 | 10,000 | 防止魚、蠶類因菌侵襲致死 | |
| 微生物工程 | 一般病原體 | M3.5 | 100 | 馬爾堡病毒、拉薩氏熱、艾伯拉出血熱（排出空氣） |
| 基因轉(zhuǎn)換 | M3.5 | 100 | 大腸菌（排出空氣） | |
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過濾器位置 | 天花板（80以上）（圖3） |
優(yōu)點(diǎn)： ● 不會(huì)被室內(nèi)的作業(yè)人數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右，能保證高度的潔凈度。 ● 由于是垂直層流，換氣次數(shù)多，所以，在短時(shí)間內(nèi)得到高水準(zhǔn)的潔凈度。 ● 幾乎不會(huì)發(fā)生塵埃堆積，即便是被污染，也能很快恢復(fù)。 缺點(diǎn) ● 設(shè)備費(fèi)高 ● 運(yùn)轉(zhuǎn)成本高 ● 凈化間面積很難擴(kuò)建 |
| 吹入口位置 | 篩條或孔板（圖3） | |
| 氣流狀態(tài) | 垂直層流 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 250―650次/h0.25m/s左右 | |
| 溫度范圍 | 22℃ ±1―3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45% ±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5-25Pa(0.5―2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 大 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有規(guī)定 | |
| 工程的難易程度 | 需要很高的技術(shù)水平 | |
| 房間大小的限制 | 沒有特別的要求 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 能得到很大的面積 | |
| 作業(yè)性 | 好 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 高 | |
| 管理 | 實(shí)施高水平的管理 | |
表13 水平層流型概要及特征
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過濾器位置 | 房間一側(cè)的墻壁上（圖4） |
優(yōu)點(diǎn) ● 因渦流、死角等引起的粉塵的堆積、再游離現(xiàn)象很少 ● 室內(nèi)的潔凈度不大被作業(yè)人員數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右。 缺點(diǎn) ● 在距吹出層面較近的地方可以保證有高水平的潔凈度，但在距吸引層面較近的地方，潔凈度會(huì)有所降低。 ● 凈化間擴(kuò)建很困難 ● 設(shè)備費(fèi)用雖不像垂直型那么高，但仍很貴。 ● 柜子、更衣室、風(fēng)淋等準(zhǔn)備室的完善及清掃作業(yè)服等要予以充分的注意。 |
| 吹入口位置 | 吹出口對面的墻壁（圖4） | |
| 氣流狀態(tài) | 雖是水平層流，但下側(cè)風(fēng)流處會(huì)逐漸被污染。 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 30―650次/H(0.45m/s) | |
| 溫度范圍 | 22℃ ±1―3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45% ±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5--25Pa(0.5―2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 中等 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有相當(dāng)部分受限制 | |
| 工程的難易程度 | 需水平稍高的技術(shù) | |
| 房間大小的限制 | 受限制 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 受到限制 | |
| 作業(yè)性 | 人員的移動(dòng)受到限制 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 中等 | |
| 管理 | 稍微需要高水平的管理 | |
表12 垂直層流型的概要及特點(diǎn)
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過濾器位置 | 天花板（80以上）（圖3） |
優(yōu)點(diǎn)： ● 不會(huì)被室內(nèi)的作業(yè)人數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右，能保證高度的潔凈度。 ● 由于是垂直層流，換氣次數(shù)多，所以，在短時(shí)間內(nèi)得到高水準(zhǔn)的潔凈度。 ● 幾乎不會(huì)發(fā)生塵埃堆積，即便是被污染，也能很快恢復(fù)。 缺點(diǎn) ● 設(shè)備費(fèi)高 ● 運(yùn)轉(zhuǎn)成本高 ● 凈化間面積很難擴(kuò)建 |
| 吹入口位置 | 篩條或孔板（圖3） | |
| 氣流狀態(tài) | 垂直層流 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 250―650次/h0.25m/s左右 | |
| 溫度范圍 | 22℃ ±1―3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45% ±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5-25Pa(0.5―2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 大 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有規(guī)定 | |
| 工程的難易程度 | 需要很高的技術(shù)水平 | |
| 房間大小的限制 | 沒有特別的要求 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 能得到很大的面積 | |
| 作業(yè)性 | 好 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 高 | |
| 管理 | 實(shí)施高水平的管理 | |
表13 水平層流型概要及特征
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過濾器位置 | 房間一側(cè)的墻壁上（圖4） |
優(yōu)點(diǎn) ● 因渦流、死角等引起的粉塵的堆積、再游離現(xiàn)象很少 ● 室內(nèi)的潔凈度不大被作業(yè)人員數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右。 缺點(diǎn) ● 在距吹出層面較近的地方可以保證有高水平的潔凈度，但在距吸引層面較近的地方，潔凈度會(huì)有所降低。 ● 凈化間擴(kuò)建很困難 ● 設(shè)備費(fèi)用雖不像垂直型那么高，但仍很貴。 ● 柜子、更衣室、風(fēng)淋等準(zhǔn)備室的完善及清掃作業(yè)服等要予以充分的注意。 |
| 吹入口位置 | 吹出口對面的墻壁（圖4） | |
| 氣流狀態(tài) | 雖是水平層流，但下側(cè)風(fēng)流處會(huì)逐漸被污染。 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 30―650次/H(0.45m/s) | |
| 溫度范圍 | 22℃ ±1―3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45% ±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5--25Pa(0.5―2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 中等 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有相當(dāng)部分受限制 | |
| 工程的難易程度 | 需水平稍高的技術(shù) | |
| 房間大小的限制 | 受限制 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 受到限制 | |
| 作業(yè)性 | 人員的移動(dòng)受到限制 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 中等 | |
| 管理 | 稍微需要高水平的管理 | |
表14，非層流行型概要及特征
| 概要 | 特征 | |
| 吹出口、過濾器位置 | 空調(diào)風(fēng)管前端（圖5） |
優(yōu)點(diǎn)： ● 過濾器及空氣處理簡單且容易 ● 設(shè)備費(fèi)用便宜 ● 規(guī)模擴(kuò)張方便 ● 通過使用凈化臺，可以得到級別高的潔凈度。 缺點(diǎn) ● 室內(nèi)的潔凈度會(huì)因作業(yè)人員而改變。 ● 易產(chǎn)生渦流、亂流，污染粒子在室內(nèi)有發(fā)生循環(huán)的可能。 ● 由于換氣次數(shù)少，達(dá)到要求的潔凈度所需時(shí)間較長，動(dòng)力費(fèi)用較高 ● 柜子、更衣室、風(fēng)淋室等房間的完備及清掃作業(yè)服等要充分注意。 |
| 吹入口位置 | 地板上側(cè)面（圖5） | |
| 氣流狀態(tài) | 產(chǎn)生亂流 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 20―50次/h | |
| 溫度范圍 | 22℃ ±1―5℃ | |
| 濕度范圍 | RH50%±10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5―25Pa(0.5―2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 小 | |
| 建筑內(nèi)裝修材料 | 若干限制 | |
| 工程的難易度 | 多少受些限制 | |
| 室內(nèi)大小的限制 | 沒有什么限制 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 受到限制 | |
| 作業(yè)性 | 對人的移動(dòng)沒有沒有制約 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用 | 低廉 | |
| 管理 | 管理水準(zhǔn)稍高 | |
表15 針對潔凈度級別的換氣次數(shù)、新風(fēng)量和使用末端過濾器的效率
| 潔凈度（級） |
換氣次數(shù)（層流） （次/h） |
新風(fēng)量 （次/h） |
使用末端過濾器的效率 | ||
| SI | English unit | 99.97% | 99.5% | ||
| M3.5 | 100 | 250-650 | 10-20 | ○ | -- |
| M4.5 | 1,000 | 100-200 | 5-10 | ○ | -- |
| M5.5 | 10,000 | 50-70 | 2-4 | ○ |
換氣次數(shù)的增加 ○70―90 |
| M6.5 | 100,000 | 20-30 | 1-2 | ○ |
換氣次數(shù)的增加 ○30―50 |
* 1：試驗(yàn)用塵埃顆粒JIS13種的效率（0.3umDOP）
* 2：試驗(yàn)用塵埃顆粒JIS14種的效率（0.5umDOP）
表16 所需壓力差
| 相應(yīng)處所 | 最低壓力差 |
| 不同級別的凈化間之間 |
5Pa (0.5mmH2O) |
| 凈化間和準(zhǔn)凈化間 |
10Pa (1.0mmH2O) |
| 凈化間與一般房間 |
15Pa (1.5mmH2O) |
國產(chǎn)濾料與進(jìn)口濾料參數(shù)對照表
| 濾料類型 | 國產(chǎn)H13玻纖料 | 進(jìn)口H13玻纖料 | 進(jìn)口U15玻纖料 |
| 規(guī)格： | 300*300*292 | 300*300*292 | 300*300*292 |
| 外框材質(zhì)： | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 |
| 分隔物： | 鋁隔板 | 鋁隔板 | 鋁隔板 |
| 密封膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 |
| 耐溫性 | 400℃ | 400℃ | 400℃ |
| 過濾效率： | 99.99%@0.3μm | 99.99%@0.3μm | 99.999%@0.12μm |
| 濾料面積： | 5.0m2 | 5.0m2 | 5.0m2 |
| 額定風(fēng)量： | 550m3/h | 550m3/h | 270m3/h |
| 初阻力： | 180±10Pa | 150±10Pa | 140±10Pa |
| 濾料類型 | 國產(chǎn)H13玻纖料 | 進(jìn)口H13玻纖料 | 進(jìn)口U15玻纖料 |
| 規(guī)格： | 610*305*292 | 610*305*292 | 610*305*292 |
| 外框材質(zhì)： | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 |
| 分隔物： | 鋁隔板 | 鋁隔板 | 鋁隔板 |
| 密封膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 |
| 耐溫性 | 400℃ | 400℃ | 400℃ |
| 過濾效率： | 99.99%@0.3μm | 99.99%@0.3μm | 99.999%@0.12μm |
| 濾料面積： | 10.3m2 | 10.3m2 | 10.3m2 |
| 額定風(fēng)量： | 1100m3/h | 1100m3/h | 550m3/h |
| 初阻力： | 180±10Pa | 150±10Pa | 140±10Pa |
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