IEST-RP-CC012.2：潔凈室設計要點（中文完整版）

IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發(fā)基礎設計，環(huán)境科學技術學會（IEST），建議實行的標準“IEST-RP-CC012.1：設計潔凈室時要考慮的問題”，最近已經(jīng)完成修訂，預計在今年年底出版。長期以來，原來推薦的規(guī)程一直是有關潔凈室設計、建筑和所有權的主要標準。它往往是用戶開始學習和了解潔凈室用途最重要的第一步。

    這個文件的正式范圍是：這個推薦規(guī)程（RP針對潔凈室設計中需要考慮的有關因素提出建議。這個論述僅限于那些潔凈室設計者和用戶經(jīng)常會遇到的環(huán)境條件。

    這個修訂文件――IEST-RP-CC012.2和原來的文件一樣，由兩個主要部分組成：規(guī)劃和設計要求。這個新文件是在原來的推薦規(guī)程（RP）基礎上做了大量的修訂和更新，并且增加了幾個新題目。

這個新文件包括了對防火、空氣過濾、空氣分子污染（AMC）、工廠自動化、工廠監(jiān)控和關閉工廠的論述。它對原來的微環(huán)境、供電和潔凈室建筑規(guī)程都作了重大的擴充。在噪音、振動和污染控制部分也作了更新，不僅包含現(xiàn)有最新的標準，還預測了未來的標準。

    在規(guī)劃部分還增加了維護、備用設備、改造、靈活性、生物工程學和能源效率等特殊需求的論述。
IEST-RP-CC012.2對所有行業(yè)的潔凈室所有者、使用者、設計者和建造者都很重要。
我們一起來近距離地看看這個新文件。

規(guī)劃
規(guī)劃部分適用于目前的潔凈室用戶和那些有計劃使用潔凈室的用戶。它用合乎邏輯的程序來引導用戶，這個程序明確了項目的要求，并且提出一套實現(xiàn)這些要求的方法。這部分使用W. Pena于上世紀80年代研究出來的方法，提供其他文件所沒有的信息來源。人們常說，如果把原來的IEST-RP-CC012.1的章節(jié)的主題標題單獨拿出來并且去掉后面的論述，它和Pena的最初的工作一樣，是一個非常完整的潔凈室設計清單。這個新文件包括了原來所有的內容并且增加了幾個新章節(jié)。

規(guī)劃部分首先回顧了制造過程和制定用來確定生產(chǎn)布置的效用圖表。這個效用圖表還可以用來確定與制造工藝有關的污染控制、人身安全和環(huán)境問題。

這部分提供污染物控制的指導方針，它把各種類型的污染物分門歸類并且列出用來減輕污染的常用方法。它包括了關于人生安全和環(huán)境的問題、關鍵物流、場地選擇標準、安全和進出控制和政府管理方面的論述。

IEST-RP-CC012.2在規(guī)劃部分引進一些新題目，包括防火、特殊要求和能源效率。特殊要求部分非常有用，因為它包含了在設計過程中常常被忽視掉的一些問題。這些問題包括維護能力、借用設備、靈活性等。能源效率提出降低能源消耗的建議，而且還提供通過實際案例研究得到的數(shù)據(jù)。

還有一個新章節(jié)，它涉及現(xiàn)有設備的改造問題。它回顧了對現(xiàn)有潔凈室進行改造的物流問題和以后對運行的影響。
這個文件的規(guī)劃部分還包括生物工程學、預算和進度方案。

設計要求
IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發(fā)基礎設計，這部分關于設計需求的論述增加了關于工藝的細節(jié)。我們在這里找到關于各種工廠系統(tǒng)的論述，并且它們可能最適合在最終的設計中使用。這部分首先回顧了潔凈室中氣流模型的類型：單向氣流、非單向氣流和混合氣流，并且提供關于各種氣流模型的使用指導。它還論述了關于如何保持理想的氣流模型的建筑布置。

這個章節(jié)是關于氣流的指導方針，已經(jīng)作了更新并且擴大了范圍，它包含新版的建議氣流速度表。無論提供的怎樣的數(shù)據(jù)，它總是會引起激烈的爭論。人們希望新版本能夠做和老版本一樣的事情?？諝膺^濾部分回顧了在線過濾器和終端過濾器兩種產(chǎn)品并且列出了適當?shù)臏y試標準。http://www.iwuchen.com/

原文件的核心部分――HVAC系統(tǒng)構成，在修訂后的文件中仍然保留，并且提供關于溫度、濕度、壓力和排風方面的討論依據(jù)。這部分描述了由排風決定的系統(tǒng)、由冷卻決定的系統(tǒng)和潔凈度分類決定的系統(tǒng)，并且向用戶提供關于哪個系統(tǒng)才是最適合的必要的信息。

文件分別提供溫度、濕度、壓力和排風的指導方針、認證要求和設計參數(shù)，通過詳細說明HVAC標準來指導用戶達到項目的具體要求。

增加了新的章節(jié)，它涉及檢驗空氣分子污染（AMC）和用來控制空氣分子污染的系統(tǒng)。它將AMC控制和HVAC系統(tǒng)整合在一起，這樣能夠把必要的設計元素結合起來。

關于噪聲和振動的章節(jié)已經(jīng)更新完成，它包括現(xiàn)有的標準和技術。特別值得注意的是，它引進了兩個新的振動標準曲線：VC-F和VC-G。雖然這個新標準還沒有得廣泛的使用，但是對某些應用來說非常重要，比如納米技術。
關于潔凈室電力部分的范圍擴大很多，包括備用設備、安全、應急用的電力系統(tǒng)和備用電力系統(tǒng)等問題。它還論述了靜電干擾和潔凈室照明問題。

關于人身安全的章節(jié)現(xiàn)在包括關于有毒氣體監(jiān)視系統(tǒng)和檢漏的論述。
自IEST-RP-CC012.1第一次出版至今，微環(huán)境技術已經(jīng)取得很大的進步。因此，關于微環(huán)境部分的章節(jié)增加了許多，并且把重點放在微環(huán)境和建筑系統(tǒng)的整合上。“IEST-RP-CC028.1：微環(huán)境”中的內容已經(jīng)加入如何幫助用戶根據(jù)具體用途來確定使用什么類型和結構的微環(huán)境。

許多新的和現(xiàn)有的工廠在他們的設計中加入自動化系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的工廠整合和運行建議非常重要。IEST-RP-CC012.2關于工廠自動化的章節(jié)提供了關于這些系統(tǒng)使用和整合方面的指導。

許多現(xiàn)代化潔凈室工廠包含有專門用來提供與操作參數(shù)有關的實時信息的工廠監(jiān)視系統(tǒng)。這些參數(shù)包括溫度、壓力、濕度和空氣微粒的等級。這個新文件詳細描述了這些系統(tǒng)并且提供關于所使用的系統(tǒng)類型的指導性意見。
許多工廠老化或者技術落后，需要讓它們退役，這就是關閉工廠程序。這個程序提供經(jīng)濟上、環(huán)境上和人身安全方面的建議。IEST-RP-CC012.2提供與工藝、工廠和建筑部件有關的關閉工廠的指導。

人們把潔凈室建筑規(guī)程作為成功的潔凈室項目的基礎。 IEST-RP-CC012.2回顧了執(zhí)行這樣一個計劃的規(guī)劃、物流保障和程序等方面的要求。它回顧了外界隔離、進出控制、培訓和不間斷清潔等方面的要求。這個RP的附錄包括一個的潔凈室建筑規(guī)程計劃的例子，適合用戶使用或改進。

長期以來，“IEST RP 12.1：設計潔凈室時要注意的問題”已經(jīng)成為潔凈室規(guī)劃和設計最主要的工具。這與提供食譜不同，它引導用戶通過仔細考慮關于規(guī)劃和設計方面的問題，通過開發(fā)能夠滿足具體需求的設計標準來協(xié)助用戶和設計人員。IEST-RP-CC012.2保留了許多原有內容，在此基礎上對原有內容進行詳細說明，提供更多的內容并且更新設計標準。這個文件是與潔凈室規(guī)劃和設計有關的基礎讀物。

作者簡介
本文作者Michael A. Fitzpatrick是McGill潔凈室系統(tǒng)公司副總裁，他從事半導體工廠的設計與建造超過27年。他是環(huán)境科學與技術學會的高級會員，擔任“WG-CC012：潔凈室設計中需要考慮的問題”和“WG-CC0028：微環(huán)境”的主席。他是IEST的副主席。電子郵件：fitz@mcg-illcleanroom.com。

IEST簡介
環(huán)境科學技術學會（IEST）成立于1953年，是一個國際非贏利性的技術組織，由工程師、科學家和教育家組成，他們通過教育和發(fā)展推薦規(guī)程和標準同時為IEST的會員和自己所代表的行業(yè)（地球和太空環(huán)境的模擬、測試、控制和教學）服務。IEST是一個美國國家標準化組織認可的標準開發(fā)組織、“ISO/TC 209：潔凈室和有關聯(lián)的控制環(huán)境”的秘書處、美國國家標準化組織認可的“US TAG到ISO/TC 209”的管理機構、美國國家標準化組織認可的“US TAG到ISO/TC 142：空氣和其他氣體的清凈設備”的管理機構和美國國家標準化組織認可的“TAG到ISO/TC 229：納米技術”的創(chuàng)始會員。