潔凈車間各狀態(tài)下潔凈度檢測-空態(tài)IQ、靜態(tài)OQ、動態(tài)PQ
潔凈度等級檢測-空態(tài)IQ、靜態(tài)數(shù)據(jù)OQ、動態(tài)PQ。
CleanRoom-IQ.OQ.PQ。
專業(yè)術(shù)語:
GB50073-2001在凈化車間設計標準中對潔凈室進行了以下界定:
空態(tài)as-built。
設備已經(jīng)完工,所有驅(qū)動力都接入并運行,但沒有制造武器裝備、材料和員工。
靜態(tài)數(shù)據(jù)at-rest。
設備已經(jīng)完工,制造武器設備已經(jīng)安裝,并按照社區(qū)業(yè)主和加工技術(shù)人員的同意運行,但沒有制造人員。
動態(tài)operational。
設備已經(jīng)劃分的情況下運行,有劃分的員工到場,并在討論的情況下舉行事務。
在ISO14644中,將潔凈室檢測環(huán)節(jié)劃分如下:
空態(tài)潔凈室檢測-Installationqualificafion(IQ)
靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈室檢測-Operationalqualificafion(OQ)
動態(tài)潔凈室檢測-Performancequalificafion(PQ)
檢查空態(tài)潔凈室和安裝的武器裝備是否符合設計方案,至少檢查以下幾點:
1.潔凈室武器裝備成套設備;
2.所有電力能源介質(zhì)和工藝物質(zhì)的供應(水、電、蒸汽、空氣壓縮、蒸汽等)是否符合設計方案;
3.公共和防具的作用是否準確;
4.因此,自動控制系統(tǒng)、監(jiān)控、報警、報警等的計量檢定日期;
5.安裝質(zhì)量;
6.安裝過濾裝置(最終過濾裝置)的一致性;
7.開關(guān)電源及設備是否有備份數(shù)據(jù),包括氣體處理武器裝備的排氣容量;
8.壓差;
9.氣旋特性(單側(cè)氣旋-流速、均值性和氣旋偏重);
10.維護結(jié)構(gòu)的密封性;
11.檢查循環(huán)系統(tǒng)氣體與室外氣體的比例是否符合設計方案;
12.外部潔凈度等級;
13.包裝中是否有配件。
檢查HEPA(ULPA)過濾裝置的一致性具有關(guān)鍵和現(xiàn)實意義,特別是ISO6級、ISO5級和其他更高級的潔凈室。檢查外部清潔度等級和維護結(jié)構(gòu)的密封性(ISO1~ISO5級潔凈室的新穎關(guān)鍵)。
靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈室檢測(OQ)
本環(huán)節(jié)的檢測應至少進行以下事項:
1.確定潔凈區(qū)劃標準是否符合規(guī)定;
2.明確環(huán)境污染水平上升后潔凈室臭氧消毒時間的主要參數(shù);
3.保持環(huán)境溫度和空氣濕度的牢固性;
4.根據(jù)物體數(shù)量確定潔凈度等級;
5.明確壓差;
6.外部清潔度等級應根據(jù)顆粒和微生物菌種的環(huán)境污染水平確定;
7.明確光照強度;
8.明確噪聲等級;
9.履行必要的專用工具,檢查氣旋和換風次數(shù)(必要時);
10.將獲取數(shù)據(jù)信息的實際效果寫出書面。
為更好地評價動態(tài)潔凈室的牢固性:
1.認證潔凈室支解規(guī)章制度;
2.評估將溫度和空氣濕度保持在劃分限制內(nèi)的工作能力;
3.根據(jù)物體數(shù)檢查潔凈度等級,明確空氣中的細菌濃度值(必要時);
4.認證壓力差;
5.根據(jù)物體數(shù)量和微生物菌種數(shù)量確定外界潔凈度等級(必要時);
6.檢查潔凈室操作文件的成套設備,包括主要參數(shù)的檢查方法、潔凈室事故的安全事故和接受的具體措施,是否有基本的技術(shù)規(guī)范,如潔凈室清潔、換衣、員工環(huán)境衛(wèi)生等領(lǐng)域的技術(shù)規(guī)范;
7.檢查員工是否接受過學習培訓,是否有培訓管理系統(tǒng)和回應文件;
必要時還需要檢查振動水平、氣體水解水平、電磁感應強度。檢測的具體內(nèi)容可根據(jù)潔凈室的特點進行更改。
在應用過程中,解決潔凈室的主要參數(shù)與通常的監(jiān)督相同,監(jiān)控應有一定的規(guī)律性,潔凈室客戶可以根據(jù)標準文件的規(guī)定明確這些規(guī)則。
檢測可在潔凈室過程中進行(反復檢測);
以下各類產(chǎn)生后需要進行反復檢測:
1.清除潔凈室達不到給出主要參數(shù)的原因;
2.與潔凈室等應用標準的應用有很大的不同(如改變生產(chǎn)工藝等);
3.氣體長期停止商品流通(送風),危害潔凈室事務;
4.進行危害潔凈室的個人維護或維護,如更換HEPA過濾裝置后。